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标题
Simulation Studies of Fluorine-Induced Corrosion and Defects on Microchip Al Bondpads in Wafer Fabrication
晶圆制造中微芯片铝焊盘氟诱导腐蚀和缺陷的模拟研究
相关领域
腐蚀 薄脆饼 材料科学 相对湿度 晶圆制造 制作 氧化物 氟 大气（单位） 湿度 冶金 复合材料 光电子学 热力学 物理 病理 医学 替代医学
网址
https://doi.org/10.31399/asm.cp.istfa2010p0117
DOI
10.31399/asm.cp.istfa2010p0117 doi
其它 期刊：Proceedings - International Symposium for Testing and Failure Analysis
作者：Hua Younan; Nistala Ramesh Rao
出版日期：2010-11-01
求助人
陶醉觅夏 在 2024-11-27 19:21:53 发布自陕西，悬赏 10 积分
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