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Research on the Formation and Evolution Mechanism of Cracks in Laser Stealth Dicing of Silicon Carbide Crystals
碳化硅晶体激光隐身切割裂纹形成演化机理研究
相关领域
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期刊:Journal of Molecular Graphics & Modelling 作者:Lei Han; Quanlong Wang; Chenglong Ma; Bangjie Gu; Xiaoqiang Li; et al 出版日期:2024-11-01 |
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