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Grating-based 2D displacement measurement with quadruple optical subdivision of a single incident beam
基于光栅的单入射光束四重细分二维位移测量
相关领域
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期刊:Optics Express 作者:Yunfei Yin; Liu Zhaowu; Shan Jiang; Wei Wang; Hongzhu Yu; et al 出版日期:2021-07-19 |
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