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From thin film to bulk 3C-SiC growth: Understanding the mechanism of defects reduction
从薄膜到体3C-SiC生长:理解缺陷减少的机制
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期刊:Materials Science in Semiconductor Processing 作者:Francesco La Via; Severino Alves; Ruggero Anzalone; Corrado Bongiorno; Grazia Litrico; et al 出版日期:2018-03-01 |
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