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Vertical Channel ZnO Thin-Film Transistors Using an Atomic Layer Deposition Method
使用原子层沉积方法的垂直沟道ZnO薄膜晶体管
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期刊:IEEE Electron Device Letters 作者:Chi‐Sun Hwang; Sang‐Hee Ko Park; Himchan Oh; Min‐Ki Ryu; Kyoung-Ik Cho; et al 出版日期:2014-03-01 |
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