Development and performance of EUV pellicles

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标题	[高分] Development and performance of EUV pellicles EUV薄膜的研制与性能相关领域十字线极紫外光刻材料科学平版印刷术薄脆饼极端紫外线体积热力学光电子学纳米技术计算机科学光学物理激光器量子力学
网址	https://doi.org/10.1515/aot-2017-0023
DOI	10.1515/aot-2017-0023 doi
其它	期刊：Advanced Optical Technologies 作者：Derk Brouns 出版日期：2017-06-27
求助人	大松鼠在 2024-08-08 17:53:58 发布自浙江，悬赏 50 积分
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