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Enhancement of phase transition properties of ultrathin VO2 thin films on microsphere array by vacuum thermal pre-annealing
真空热预退火增强微球阵列上超薄VO2薄膜的相变性能
相关领域
材料科学
退火(玻璃)
薄膜
溅射沉积
相变
制作
溅射
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钒
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期刊:Thin Solid Films 作者:Jiran Liang; Dequan Zhang; Shuai Wang; Tao Xue; Lize Yu; et al 出版日期:2023-04-01 |
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