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标题
Rapid electric field-enhanced crystallization of amorphous silicon thin films with an aluminum layer
具有铝层的非晶硅薄膜的电场增强快速结晶
相关领域
材料科学 结晶 无定形固体 薄膜 焦耳加热 硅 非晶硅 多晶硅 共晶体系 成核 图层（电子） 分析化学（期刊） 复合材料 晶体硅 光电子学 纳米技术 结晶学 化学工程 微观结构 薄膜晶体管 化学 工程类 有机化学 色谱法
网址
https://doi.org/10.1016/j.mssp.2023.107352
AI链接 elsevier.comdoi.org
DOI
10.1016/j.mssp.2023.107352 doi
其它 期刊：Materials Science in Semiconductor Processing
作者：Kyongtae Ryu; Jiyoung Park; Seung-Jae Moon
出版日期：2023-05-01
求助人
北辰 在 2024-09-13 15:14:24 发布自山东，悬赏 10 积分
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