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标题
Investigations of strength of copper-bonded wafers with several quantitative and qualitative tests
用几种定量和定性测试研究铜键合晶片的强度
相关领域
晶片切割 薄脆饼 材料科学 阳极连接 晶片键合 粘结强度 复合材料 固体物理学 粘结强度 冶金 胶粘剂 纳米技术 物理 凝聚态物理 图层(电子)
网址
DOI
10.1007/bf02692570 doi
其它 期刊:Journal of Electronic Materials
作者:Kuan‐Neng Chen; Sen-Chia Chang; Liang‐Chi Shen; R. Reif
出版日期:2006-05-01
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