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Low temperature growth of In2O3 films via pulsed laser deposition with oxygen plasma
氧等离子体脉冲激光沉积低温生长In2O3薄膜
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期刊:Japanese Journal of Applied Physics 作者:Chengyu Pan; Katsuhiko Saito; Tooru Tanaka; Qixin Guo 出版日期:2021-05-01 |
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