MEMS Switch Based on a Cantilever with Increased Contact Force

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标题	MEMS Switch Based on a Cantilever with Increased Contact Force 基于具有增加接触力的悬杆的微机电开关相关领域悬臂梁微电子机械系统接触力材料科学纳米技术复合材料经典力学物理
网址	https://doi.org/10.1134/s1063739723700774
DOI	10.1134/s1063739723700774 doi
其它	期刊：Russian Microelectronics 作者：I. A. Belozerov; Ilia V. Uvarov 出版日期：2023-12-01
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