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MEMS Switch Based on a Cantilever with Increased Contact Force

悬臂梁 微电子机械系统 接触力 材料科学 纳米技术 复合材料 经典力学 物理
作者
I. A. Belozerov,Ilia V. Uvarov
出处
期刊：Russian Microelectronics [Springer Nature]
日期：2023-12-01 卷期号：52 (6): 475-482
标识
DOI：10.1134/s1063739723700774
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