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 An 8-inch commercial aluminum nitride MEMS platform for the co-existence of Lamb wave and film bulk acoustic wave resonators Lamb波和薄膜体声波谐振器共存的8英寸商用氮化铝MEMS平台
相关领域
谐振器
材料科学
微电子机械系统
兰姆波
联轴节（管道）
声表面波
氮化物
表面微加工
计算机科学
声学
光电子学
机械工程
复合材料
物理
电信
图层（电子）
表面波
制作
工程类
医学
替代医学
病理
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| 其它 |
期刊：Journal of micromechanics and microengineering 作者：Tzu‐Hsuan Hsu; Shao-Siang Tung; Yan-Ming Huang; Guan-Lin Wu; Chin‐Yu Chang; et al 出版日期：2023-03-16 |
| 求助人 | |
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