Improved critical temperature of superconducting plasma-enhanced atomic layer deposition of niobium nitride thin films by thermal annealing

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标题	Improved critical temperature of superconducting plasma-enhanced atomic layer deposition of niobium nitride thin films by thermal annealing 热退火提高超导等离子体增强原子层沉积氮化铌薄膜的临界温度相关领域材料科学铌氮化铌退火（玻璃）结晶度超导电性氧化物氮化物分析化学（期刊）图层（电子）复合材料冶金凝聚态物理化学色谱法物理
网址	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2020.138232
DOI	10.1016/j.tsf.2020.138232 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：Liang Tian; Ivane Bottala-Gambetta; Victor Marchetto; Manoël Jacquemin; Alexandre Crisci; et al 出版日期：2020-09-01
求助人	雷文博在 2024-08-23 13:00:06 发布自江苏，悬赏 10 积分
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