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A phase error compensation algorithm for white light phase shift interferometry
白光相移干涉测量的相位误差补偿算法
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期刊:Eighth Symposium on Novel Photoelectronic Detection Technology and Applications 作者:Jun-Wen Tan; Jian Gao; Zhuojun Zheng; Lanyu Zhang 出版日期:2022-03-29 |
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