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  Laser Assisted Patterning of a-Si:H: Detailed Investigation of Laser Damage a-Si：H激光辅助图案化：激光损伤的详细研究
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钝化
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硅
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期刊：Physica Status Solidi (rrl) 作者：Menglei Xu; Twan Bearda; Hariharsudan Sivaramakrishnan Radhakrishnan; Miha Filipič; Ivan Gordon; et al 出版日期：2017-07-26 |
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