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标题
Interface morphology of Mo/Si multilayer systems with varying Mo layer thickness studied by EUV diffuse scattering
用EUV漫射散射研究不同Mo层厚度的Mo/Si多层体系的界面形貌
相关领域
镜面反射 光学 材料科学 散射 极紫外光刻 漫反射 表面光洁度 X射线反射率 表面粗糙度 堆栈（抽象数据类型） 极端紫外线 光电子学 反射率 物理 激光器 程序设计语言 复合材料 计算机科学
网址
https://doi.org/10.1364/oe.25.015441
AI链接 doi.org nih.govdoi.org
DOI
10.1364/oe.25.015441 doi
其它 期刊：Optics Express
作者：Anton Haase; Victor Soltwisch; Stefan Braun; Christian Laubis; Frank Scholze
出版日期：2017-06-22
求助人
Maruko_0_ 在 2024-12-04 11:07:08 发布自吉林，悬赏 10 积分
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