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Towards improving challenging stochastic defect detection in SEM images based on improved YOLOv5
基于改进的YOLOv5改进SEM图像中具有挑战性的随机缺陷检测
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计算机科学
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半导体器件制造
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期刊: 作者:Bappaditya Dey; Enrique Dehaerne; Sandip Halder 出版日期:2022-11-10 |
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