Segmented Electrode Plasma Source with Anti-Phase Discharge

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标题	Segmented Electrode Plasma Source with Anti-Phase Discharge 反相放电分段电极等离子体源相关领域等离子体等离子体增强化学气相沉积结晶度沉积（地质）材料科学薄膜基质（水族馆）电极分析化学（期刊）硅化学气相沉积微晶光电子学化学纳米技术复合材料物理结晶学古生物学海洋学物理化学色谱法量子力学沉积物生物地质学
网址	https://doi.org/10.1143/jjap.51.08hd02
DOI	10.1143/jjap.51.08hd02 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Ikuo Sawada; Masato Morishima; Y. Saitoh 出版日期：2012-08-01
求助人	七秒在 2025-01-04 14:54:43 发布自湖南，悬赏 10 积分
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