发布文献求助
待确认
  • 文献求助详情
标题
Review of essential use of fluorochemicals in lithographic patterning and semiconductor processing
氟化物在光刻图形和半导体加工中的必要用途综述
相关领域
纳米技术 纳米压印光刻 材料科学 平版印刷术 半导体工业 半导体 光电子学 制造工程 工程类 医学 替代医学 病理 制作
网址
https://doi.org/10.1117/1.jmm.21.1.010901
AI链接 spiedigitallibrary.orgdoi.org
DOI
10.1117/1.jmm.21.1.010901 doi
其它 期刊：Journal of Micro/Nanopatterning Materials and Metrology
作者：Christopher K. Ober; Florian Käfer; Jingyuan Deng
出版日期：2022-03-31
求助人
虚心盼夏 在 2025-01-15 10:29:17 发布自上海，悬赏 20 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
相关文献
  1. Directional Photofluidization Lithography: Micro/Nanostructural Evolution by Photofluidic Motions of...
  2. Electrostatic nanolithography in polymers using atomic force microscopy
  3. A novel liquid thermal polymerization resist for nanoimprint lithography with low shrinkage and high...
  4. Optical properties of high-quality nanohole arrays in gold made using soft-nanoimprint lithography
  5. Fabrication of Diamond-Like Carbon Emitter Patterns by Room-Temperature Curing Nanoimprint Lithograp...
  6. Nanoimprint lithography for microfluidics manufacturing
  7. Fabrication of SnO2 Nano-to-Microscale Structures from SnO2-Nanoparticle-Dispersed Resin via Thermal...
  8. High-reolution imprint and soft lithography for patterning self-assembling systems
  9. Step and Flash Imprint Lithography for Semiconductor High Volume Manufacturing
  10. Nanolithography using molecular films and processing
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 4小时前

    hututu hututu Lv410 上传了文件

    待审核 010901_1.pdf (951.67 KB)

  • 4小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    10:29:19 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    10:29:17 科研通AI机器人（新加坡）收到请求，开始寻找文献
    10:29:17 已向机器人发送请求

  • 4小时前

    虚心盼夏 虚心盼夏 求助人 Lv41 发起了本次求助

更新
大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
乐乐的应助被周周和唐采纳，获得10
刚刚
1秒前
大个的应助被科研通管家采纳，获得10
1秒前
酷波er的应助被科研通管家采纳，获得30
1秒前
科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10
1秒前
1秒前
8R60d8的应助被科研通管家采纳，获得20
1秒前
Orange的应助被科研通管家采纳，获得10
1秒前
柯一一的应助被科研通管家采纳，获得10
1秒前
8R60d8的应助被科研通管家采纳，获得10
2秒前
华仔的应助被科研通管家采纳，获得10
2秒前
柯一一的应助被科研通管家采纳，获得10
2秒前
2秒前
天天快乐的应助被科研通管家采纳，获得10
2秒前
隐形曼青的应助被科研通管家采纳，获得10
2秒前
我是老大的应助被科研通管家采纳，获得10
2秒前
2秒前
CipherSage的应助被小怪兽大王采纳，获得10
2秒前
朽木完成签到，获得积分10
2秒前
2秒前
2秒前
3秒前
ZzoKk完成签到，获得积分10
4秒前
4秒前
5秒前
6秒前
6秒前
6秒前
七八九发布了新的文献求助10
7秒前
科研通AI2S的应助被椰奶椰奶采纳，获得10
7秒前
wst发布了新的文献求助10
7秒前
7秒前
muzi发布了新的文献求助10
7秒前
tomorrow505的应助被神仙渔采纳，获得10
7秒前
dandan发布了新的文献求助10
7秒前
欢呼遥完成签到 ，获得积分10
8秒前
zqj发布了新的文献求助10
8秒前
8秒前
Jasper的应助被tianyy采纳，获得10
8秒前
srandrs完成签到，获得积分10
8秒前
高分求助中
Mantiden: Faszinierende Lauerjäger Faszinierende Lauerjäger Heßler, Claudia, Rud 1000
PraxisRatgeber: Mantiden: Faszinierende Lauerjäger 1000
Natural History of Mantodea 螳螂的自然史 1000
A Photographic Guide to Mantis of China 常见螳螂野外识别手册 800
Autoregulatory progressive resistance exercise: linear versus a velocity-based flexible model 500
Spatial Political Economy: Uneven Development and the Production of Nature in Chile 400
Insecta 2. Blattodea, Mantodea, Isoptera, Grylloblattodea, Phasmatodea, Dermaptera and Embioptera 400
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 物理化学 催化作用 细胞生物学 免疫学 冶金
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3328382
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 2958441
关于积分的说明 8590329
捐赠科研通 2636676
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1443163
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 668515
邀请新用户注册赠送积分活动 655740
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通