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 AFM tip-based fabrication of silicon nanostructures with reduced subsurface amorphous layers 基于AFM尖端制备具有减少的亚表面非晶层的硅纳米结构
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期刊：Precision Engineering 作者：Jinyan Tang; Zhongwei Li; Bing‐Feng Ju; Yuan-Liu Chen 出版日期：2024-06-01 |
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