Impact of Wire RC Based on High Voltage SCAN Failure Analysis in 10nm Process

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标题	Impact of Wire RC Based on High Voltage SCAN Failure Analysis in 10nm Process 基于10nm工艺高压扫描失效分析的导线RC影响相关领域材料科学电压高压过程（计算）高电阻生产线后端电气工程图层（电子）光电子学电子工程工程类计算机科学复合材料农学生物操作系统
网址	https://doi.org/10.1109/ipfa.2018.8452614
DOI	10.1109/ipfa.2018.8452614 doi
其它	期刊：作者：Ghil-Geun Oh; Kim Sijeong; Kyeongju Jin; Shin Young Jung; Brandon Lee 出版日期：2018-07-01
求助人	闾丘山菡在 2023-12-20 09:29:16 发布自上海，悬赏 10 积分
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