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标题
Fast chemical thinning of germanium wafers for optoelectronic applications
用于光电应用的锗晶片的快速化学减薄
相关领域
锗 薄脆饼 材料科学 蜡 稀释 基质（水族馆） 各向同性腐蚀 光电子学 蚀刻（微加工） 扩散 水溶液 化学工程 晶片键合 纳米技术 复合材料 硅 化学 图层（电子） 物理化学 生态学 生物 工程类 地质学 物理 海洋学 热力学
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S016943322...
DOI
10.1016/j.apsusc.2021.152199 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Clara Sanchez‐Perez; Iván García; Ignacio Rey‐Stolle
出版日期：2021-12-14
求助人
夹心 在 2025-04-02 13:37:56 发布自四川，悬赏 10 积分
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