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 Thermal Stability of the Ferroelectric Properties in 100 nm-Thick Al0.72Sc0.28N 相关领域
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期刊：ACS Applied Materials & Interfaces 作者：Roberto Guido; Patrick D. Lomenzo; Md Redwanul Islam; Niklas Wolff; Maike Gremmel; et al 出版日期：2023-01-30 |
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