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 Growth and Characterization of Undoped Polysilicon Thick Layers: Revisiting an Old System 未掺杂多晶硅厚层的生长和表征：旧系统的重温
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材料科学
多晶硅
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期刊：Silicon 作者：Taguhi Yeghoyan; Kassem Alassaad; Véronique Soulière; Thierry Douillard; Davy Carole; et al 出版日期：2019-07-04 |
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