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Thermally and mechanically reliable photoresist for redistribution layer for advanced packaging
用于先进封装的再分布层的热和机械可靠的光致抗蚀剂
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期刊:Journal of Micro/Nanolithography MEMS and MOEMS 作者:Reina Ogawa; T. Takeda; Kazuhiko Ishikawa 出版日期:2018-11-10 |
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