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 Towards understanding uniformity of megasonic-assisted through-mask electrochemical micromachining based on bubble dynamics 基于气泡动力学的兆超声辅助通掩模电化学微加工的均匀性
相关领域
材料科学
多物理
阳极
气泡
蚀刻（微加工）
表面微加工
欧姆接触
各向同性腐蚀
空化
纳米技术
光电子学
电极
声学
机械
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期刊：Journal of Manufacturing Processes 作者：Mingxin Yu; Liqun Du; Ke Zhai; Haohao Cheng; Fenglai Wang; et al 出版日期：2023-06-01 |
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