Characterization of 300 mm Low Temperature SiCN PVD Films for Hybrid Bonding application

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标题	Characterization of 300 mm Low Temperature SiCN PVD Films for Hybrid Bonding application 用于混合键合的300 mm低温SiCN PVD薄膜的表征相关领域材料科学等离子体增强化学气相沉积退火（玻璃）电介质悬空债券化学气相沉积复合材料化学计量学堆积光电子学硅化学工程化学有机化学工程类
网址	http://dx.doi.org/10.1109/ECTC51909.2023.00098
DOI	10.1109/ECTC51909.2023.00098 doi
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