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 Optimization of fin profile and implant in bulk FinFET technology 体FinFET技术中翅片轮廓和注入的优化
相关领域
鳍
材料科学
植入
光电子学
复合材料
医学
外科
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期刊： 作者：Yaotong Wu; C.H. Tsai; T. Miyashita; P.-N. Chen; B. C. Hsu; et al 出版日期：2016-04-01 |
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