A MEMS fast steering mirror with a large optical aperture and high surface quality for free-space optical communication

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标题	A MEMS fast steering mirror with a large optical aperture and high surface quality for free-space optical communication 一种用于自由空间光通信的大孔径高表面质量MEMS快速转向镜相关领域自由空间光通信光学光通信光束转向变形镜自由空间微电子机械系统自适应光学物理材料科学光电子学梁（结构）
网址	https://doi.org/10.1364/oe.525126 AI链接 doi.orgdoi.org
DOI	10.1364/oe.525126 doi
其它	期刊：Optics Express 作者：Yang Yi; Yichen Liu; Yongquan Su; Zhichao Weng; Qianying Sun; et al 出版日期：2024-09-16
求助人	MEMSforever 在 2024-10-20 18:20:54 发布自上海，悬赏 10 积分
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