One step coating anti-reflective SiO2 film for silicon solar cells applications by atmospheric pressure plasma jet

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标题	One step coating anti-reflective SiO2 film for silicon solar cells applications by atmospheric pressure plasma jet 大气压等离子体射流一步涂覆硅太阳电池减反射SiO2薄膜相关领域材料科学大气压等离子体涂层喷射（流体）等离子体大气压力太阳能电池光伏系统沉积（地质）硅封面（代数）光电子学二氧化硅薄膜光学复合材料纳米技术气象学机械工程航空航天工程物理古生物学工程类沉积物生物量子力学生态学
网址	https://doi.org/10.1016/j.matlet.2023.134915
DOI	10.1016/j.matlet.2023.134915 doi
其它	期刊：Materials Letters 作者：Tao He; Zhixin Qian; Qin Wang; Yu Zhang; Haozhe Wang; et al 出版日期：2023-07-17
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