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标题
Effect of Cl2 Radical on Dry Development of Spin-Coated Metal Oxide Resist
Cl2自由基对旋涂金属氧化物抗蚀剂干显影的影响
相关领域
抵抗 材料科学 氧化物 金属 无机化学 纳米技术 冶金 化学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1021/acsami.4c10523
AI链接 nih.govdoi.org
DOI
10.1021/acsami.4c10523 doi
其它 期刊：ACS Applied Materials & Interfaces
作者：Soo Namgoong; Heeju Kim; Yeo Kyung Kang; Min Cheol Kim; Yun Jong Jang; et al
出版日期：2024-09-12
求助人
苹果冰安 在 2025-01-06 10:31:38 发布自浙江，悬赏 10 积分
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