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Effect of Cl2 Radical on Dry Development of Spin-Coated Metal Oxide Resist

抵抗 材料科学 氧化物 金属 无机化学 纳米技术 冶金 化学 图层（电子）
作者
Soo Namgoong,Heeju Kim,Yeo Kyung Kang,Min Cheol Kim,Yun Jong Jang,Hyunwoo Tak,Ji Eun Kang,Sun Jin Lee,Myung‐Gil Kim,Dong‐Woo Kim,Geun Young Yeom
出处
期刊：ACS Applied Materials & Interfaces [American Chemical Society]
日期：2024-09-12
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1021/acsami.4c10523
摘要
In this study, the effects of Cl
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