Improving the Leakage Characteristics and Efficiency of GaN-based Micro-Light-Emitting Diode with Optimized Passivation

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标题	Improving the Leakage Characteristics and Efficiency of GaN-based Micro-Light-Emitting Diode with Optimized Passivation 优化钝化改善GaN基微型发光二极管的泄漏特性和效率相关领域钝化等离子体增强化学气相沉积材料科学光电子学泄漏（经济）发光二极管图层（电子）二极管原子层沉积反向漏电流化学气相沉积纳米技术肖特基势垒宏观经济学经济
网址	http://dx.doi.org/10.1149/2162-8777/ab915d
DOI	10.1149/2162-8777/ab915d doi
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