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 Static Vapor Pressure Measurement of Low Volatility Precursors for Molecular Vapor Deposition Below Ambient Temperature 室温以下分子气相沉积用低挥发性前驱体的静态蒸气压测量
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期刊：Chemical Vapor Deposition 作者：T. Ohta; Fabio Cicoira; P. Doppelt; L. Beitone; P. Hoffmann 出版日期：2001-01-01 |
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