The effect of water vapour on atom production by glow-discharge sputtering

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标题	The effect of water vapour on atom production by glow-discharge sputtering 水蒸气对辉光放电溅射产生原子的影响相关领域溅射氩黄铜分析化学（期刊）水蒸气铝 Atom（片上系统）辉光放电材料科学化学冶金铜薄膜等离子体纳米技术环境化学物理有机化学量子力学计算机科学嵌入式系统
网址	https://doi.org/10.1016/0584-8547(91)80030-7
DOI	10.1016/0584-8547(91)80030-7 doi
其它	期刊：Spectrochimica Acta Part B Atomic Spectroscopy 作者：P.L. Larkins 出版日期：1991-01-01
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