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An enhanced chromatic dispersion probe for simultaneous measurement of dual-axis absolute and relative displacement with nanometric resolutions
用于同时测量纳米分辨率双轴绝对和相对位移的增强型色散探头
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期刊:Measurement Science and Technology 作者:Ran Zhao; C.-J. Chen; Xin Xiong; Yuan-Liu Chen; Bing‐Feng Ju 出版日期:2023-10-24 |
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