标题 |
A highly stable, nanotube-enhanced, CMOS-MEMS thermal emitter for mid-IR gas sensing
用于中红外气体传感的高稳定纳米管增强型CMOS-MEMS热发射器
相关领域
材料科学
碳纳米管
光电子学
微电子机械系统
纳米机电系统
纳米技术
制作
CMOS芯片
热氧化
电介质
硅
纳米医学
医学
病理
纳米颗粒
替代医学
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网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:Scientific Reports 作者:D. Popa; Richard Hopper; Syed Zeeshan Ali; Matthew T. Cole; Ye Fan; et al 出版日期:2021-11-25 |
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