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 Low-temperature growth of gallium oxide thin films by plasma-enhanced atomic layer deposition 等离子体增强原子层沉积法低温生长氧化镓薄膜
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Ali Mahmoodinezhad; C. Janowitz; Franziska Naumann; Paul Plate; Hassan Gargouri; et al 出版日期：2020-01-14 |
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