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Morphology, structure and properties of diamond-like carbon films prepared by spin coating and RF magnetron sputtering
旋涂和射频磁控溅射制备类金刚石薄膜的形貌、结构和性能
相关领域
材料科学
溅射沉积
溅射
表面粗糙度
薄膜
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涂层
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旋涂
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表面光洁度
光电子学
纳米技术
物理
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其它 |
期刊:Materials Technology 作者:Ho Chang; Yo-Shin Lai 出版日期:2016-06-17 |
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