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标题
CMOS Scaling for the 5 nm Node and Beyond: Device, Process and Technology
5 nm节点及以上的CMOS扩展：器件、工艺和技术
相关领域
晶体管 CMOS芯片 节点（物理） 数码产品 绝缘体上的硅 材料科学 电气工程 MOSFET 计算机科学 电子工程 纳米技术 光电子学 工程类 硅 电压 结构工程
网址
https://www.mdpi.com/2079-4991/14/10/837/pdf?version=1715263...
DOI
10.3390/nano14100837 doi
其它 期刊：Nanomaterials
作者：Henry H. Radamson; Yuanhao Miao; Ziwei Zhou; Zhenhua Wu; Zhenzhen Kong; et al
出版日期：2024-05-09
求助人
AARON 在 2025-04-26 12:02:06 发布自广东，悬赏 10 积分
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