标题 |
The Study of 193 nm Photoresist
193nm光刻胶的研究
相关领域
光刻胶
聚合物
单体
光敏性
基质(化学分析)
材料科学
蚀刻(微加工)
平版印刷术
光刻
抵抗
分辨率(逻辑)
化学工程
纳米技术
光电子学
复合材料
计算机科学
人工智能
工程类
图层(电子)
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DOI |
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其它 |
期刊:Ganguang kexue yu guanghuaxue 作者:Yanmei Wang 出版日期:2005-01-01 |
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