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[高分]
 Numerical Study on the Growth Rate of Silicon Carbide Single Crystals in a High Temperature Chemical Vapor Deposition System 高温化学气相沉积碳化硅单晶生长速率的数值研究
相关领域
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期刊：Journal of Nanoscience and Nanotechnology 作者：Seongkyung Kim; Sungin Suh; Jae Kyeong Jeong; Hyeong Joon Kim 出版日期：2017-11-01 |
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