An amplitude-based temperature compensated MEMS resonant pressure sensor with single resonator

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标题	An amplitude-based temperature compensated MEMS resonant pressure sensor with single resonator 基于振幅的单谐振器温度补偿MEMS谐振压力传感器相关领域谐振器微电子机械系统振幅压力传感器材料科学声学光电子学物理光学工程类机械工程
网址	https://doi.org/10.1016/j.measurement.2024.115683
DOI	10.1016/j.measurement.2024.115683 doi
其它	期刊：Measurement 作者：Wenliang Xia; Yulan Lu; Bo Xie; Deyong Chen; Junbo Wang; et al 出版日期：2024-09-07
求助人	xwz 在 2024-10-25 19:04:58 发布自北京，悬赏 10 积分
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