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 TCAD Simulation Study of Single-, Double-, and Triple-Material Gate Engineered Trigate FinFETs 单、双和三材料栅极工程三栅极FinFET的TCAD模拟研究
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期刊：Semiconductors 作者：Palanichamy Vimala; T. S. Arun Samuel 出版日期：2020-04-01 |
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