| 标题 |
 PEC-aware MPC for CD quality improvement 用于CD质量改进的PEC感知MPC
相关领域
残余物
错误检测和纠正
极紫外光刻
计算机科学
临界尺寸
过程（计算）
前向纠错
非线性系统
维数（图论）
航程（航空）
控制理论（社会学）
光学
算法
解码方法
数学
物理
人工智能
工程类
控制（管理）
航空航天工程
量子力学
纯数学
操作系统
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊： 作者：So-Eun Shin; Boram Lee; Sukho Lee; Eokbong Kim; Mina Kim; et al 出版日期：2023-11-21 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成，仅限求助人下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
pluto
pcr163
Singularity
VDC
sissiarno
南风
带头大哥
跳跃仙人掌
36456657
尊敬的金针菇
快乐滑板
杳鸢
方羽
iNk
模糊中正
shinysparrow
Polymer72
糕糕
Yifan2024
从容芮
皖公网安备34019202002308
