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Epitaxial growth of TiN on (0001) semi-insulating 4H-SiC substrate by reactive sputtering
反应溅射法在(0001)半绝缘4H-SiC衬底上外延生长TiN
相关领域
锡
材料科学
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期刊:Surface & coatings technology/Surface and coatings technology 作者:Hsueh-I Chen; Kun‐An Chiu; Jing-Feng Lin; Kuan‐Yu Lin; Wei-Chia Chen; et al 出版日期:2022-05-01 |
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