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 书籍（章节） Magnetron sputtering for development of nanostructured materials 磁控溅射技术在纳米结构材料研究中的应用
相关领域
材料科学
溅射沉积
高功率脉冲磁控溅射
溅射
腔磁控管
纳米技术
工程物理
薄膜
工程类
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期刊：Elsevier eBooks 作者：Ajit Behera; Shampa Aich; Theivasanthi Thirugnanasambandan 出版日期：2022-01-01 |
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