Metal-Catalyzed Vinyl Addition Polymers for 157 nm Resist Applications. 2. Fluorinated Norbornenes: Synthesis, Polymerization, and Initial Imaging Results

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标题	Metal-Catalyzed Vinyl Addition Polymers for 157 nm Resist Applications. 2. Fluorinated Norbornenes: Synthesis, Polymerization, and Initial Imaging Results 用于157纳米抗蚀剂应用的金属催化乙烯基加成聚合物。2.氟化降冰片烯：合成、聚合和初始成像结果相关领域抵抗聚合物共聚物材料科学平版印刷术催化作用聚合高分子化学金属溶解光刻胶化学工程化学纳米技术有机化学复合材料冶金工程类光电子学图层（电子）
网址	http://dx.doi.org/10.1021/ma0122371
DOI	10.1021/ma0122371 doi
求助人	xiao 在 2024-09-22 14:05:41 发布自贵州，悬赏 10 积分
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