Effect of Zr incorporation on microstructure and properties of magnetron sputtered RuZr thin films

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标题	Effect of Zr incorporation on microstructure and properties of magnetron sputtered RuZr thin films 掺Zr对磁控溅射RuZr薄膜组织和性能的影响相关领域微观结构材料科学无定形固体纳米晶材料薄膜结晶溅射沉积兴奋剂合金溅射扩散阻挡层电阻率和电导率锆冶金化学工程分析化学（期刊）复合材料结晶学纳米技术光电子学化学电气工程工程类色谱法图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2020.109516
DOI	10.1016/j.vacuum.2020.109516 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Meng Yu; Zhongxiao Song; Yanhuai Li; Wei Hu 出版日期：2020-05-30
求助人	Sudongdong 在 2024-09-22 23:14:37 发布自云南，悬赏 10 积分
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